日本虽然不再主导芯片制造和光刻机的市场,但在光刻胶领域却依然处于强势地位,全球约90%市场份额由日本企业如JSR和东京应化等占据。在高难度的EUV光刻胶领域,日本企业的市场占有率超过了95%,而ArF浸没式的份额也超出了85%。光刻工艺的核心在于将液态光刻胶涂布于晶圆上,然后经过烘干、曝光、显影、刻蚀等步骤,最终剥离多余的胶。在这个过程中,光刻胶的作用远超千万美金的曝光设备,其重要性愈发明显。
随着制程的不断进步,对光刻胶的要求越来越高。EUV波长仅为13.5纳米,光子数量极少,因此光刻胶必须在有限的光子条件下实现精准的化学反应,同时兼顾灵敏度、分辨率和线边缘粗糙度。每种光刻胶的配方都是用户与生产商共同定制的,因此不是普通化学品可比。
有业内人士透露,在研发阶段,日本企业几乎满足客户的所有需求,因为一旦进入量产,客户往往不愿意更换供应商。这一长达数年的验证期为新进入者设下了高墙。光刻胶的纯度要求极其严格,曾有案例显示,IBM某款光刻胶显影后出现问题,追查后发现污染源竟然来自于洁净室的涂料和工人皮肤上的氨。 球友会登录
光刻胶行业整体规模较小,2019年全球市场约为13亿美元。日本前董事长曾幽默地提到,日本的拉面产业规模更大。然而,光刻胶的战略价值无疑超过了其市场规模。2022年,德国默克尝试收购JSR未果,随后出现私募基金接触。2023年,日本政府控股的JIC以64亿美元将JSR私有化,这是一个稍显不寻常的举动,表明半导体领域的这一堡垒必须保护。
在g线、i线和KrF光刻胶方面,中国企业已具备相当的产能,但在ArF光刻胶的市场占有率可能低于5%,而EUV光刻胶仍在研发阶段。短期内可通过多元化采购和战略库存应对,长期则需持续加大对国产替代的投入,特别是在ArF和EUV领域。最终目标是像日本当年一样,接受短期回报较低的现实,构建完整的从配方到量产的能力体系。一旦光刻胶供应中断,损失的不仅是某种产品,更会直接影响整个先进制程的进展。